クリーンルーム

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クリーンルームフロー図の説明

 クリーンルームは、気流方式も空調方式も数多くの組み合わせがあります。そこで今回は最も施工例の多い乱流方式で、湿度も含む精密空調をパッケージエアコンで制御するフロー図を参考例といたしました。 塵埃を取るHEPAフィルターはフィルターボックスに入れて天井に埋め込み、ダクトで繋ぎこみます。パンチングで拡散しながら吹出し、エアコン下部から吸い込み循環します。クリーンルームが常に陽圧になるようOAを強制的に取り入れます。精密空調は冷却コイルで冷却・除湿を行い、過熱はPID制御によるヒーターでの再加熱を、加湿は加湿器のヒーターと同じくPID制御する事で非常に高い精度を保っています。

クリーンルームフロー図

※各画像をクリックすると拡大した画像が表示されます。

付属品いろいろ

  • 陽圧ダンパー
    クリーンルーム内を常に陽圧に保つため、一定の差圧以上になったら室内から外へ空気を逃がすダンパーです。外からの逆流はありません。
  • マノスターゲージ
    微差圧計の事でクリーンルーム内の陽圧度やフィルターの圧損を測ります。Pa(パスカル)で表示します。
  • 取外しパネル
    めったに出し入れしない機器のために、通常はノッチで機密性を保ち、機器類等大物の出し入れ時には取り外せる壁パネルです。
  • FU
    HEPAフィルターを組み込んだ機密性の高いフィルターボックスです。通常天井に配置します。ファンを組み込んだFFUもあります。
取外しパネル陽圧ダンパー