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クリーンルーム関連のよくある質問

クリーンルームって何？

クリーンルームとは、精密部品等の不良品の元である塵埃（いわゆる浮遊ゴミ）が極端に少なく、必要によって温度・湿度のコントロール出来る室もしくは空間です。

クリーンルームの用途はどんなとこ？

半導体等の精密加工等の工業用クリーンルーム、食品工業や培養室等のバイオクリーンルーム、細菌等を扱うバイオハザード等があります。

清浄度って何？

清浄度とは一定体積中のある大きさ以上の塵埃の数で示されます。規格の原本は１９６３年のアメリカ連邦規格Federal Standard２０９です。現在では１９９３年に改定されたFed.Std 209Eが使われています。これは１フィート立方中（28.3リットル）に０．５ミクロン以上の粒子が何個あるかで表し、一般的に多く使われ一番馴染みの深い表し方です。他にＪＩＳ－Ｂ9920やＩＳＯ14644-1等の規格があります。

クラス１００ってどういう事？

清浄度のクラスとは前述の連邦規格の清浄度の表し方で、１フィート立方中に０．５ミクロン以上の塵埃が１００個以下であれば、クラス１００と言います。１，０００個以下であればクラス１，０００、同じように１０，０００個以下であればクラス１０，０００と言います。小さい程ゴミの無い空間になります。

自然環境のクラスってどの位？

綺麗な方から、雲の上：クラス１,０００程度・海の上：クラス１０,０００程度・手術室：クラス５０,０００程度・田園：クラス１００,０００程度・郊外：クラス４００,０００程度・事務所：クラス１，０００,０００程度・工場：クラス３，０００,００程度・街中：クラス５，０００，０００程度と言われています。

清浄度はどうやって測るの？

パーティクルカウンター（ダストカウンター）で２．８３リットル/minを光学的に計測し、０．３μ・０．５μ・.０．７μ・１μ・３μ・５μの各粒径でカウントし、０．５μ以上を累積します。

標準的な温度は？

製品の精度を鑑みると２３℃±１℃が一般的です。但し、空調にコストがかかるので、±２℃や、±３℃も見られますし、製品に温度の影響が無ければ、作業員の為の暑くなく寒くない程度で、冬１８℃程度～夏２６℃程度の一般空調もあります。

標準的な湿度は？

５５％ ±２％が理想的です。但しこれもコストがかかるので、±５％や、±１０％も見られますし、錆を嫌うのであれば５０％以下、静電気を予防するのであれば40％以上という設定もあります。一般空調では湿度成行きとなります。

クリーンルームの四原則って何？

クリーンルームの計画にあたっては、次の四つを考慮しなくてはなりません。

1. 塵埃を室内に持ち込まない。
2. 塵埃を速やかに排除する。
3. 塵埃の発生を抑える。
4. 塵埃を堆積させない。

クリーンルームのシステムにはどんなのがあるの？

用途に応じて色々なシステムを取れますが、次の四つが一般的です。

1. 乱流（コンベショナル）方式
   最も一般的でコストもかからず、そこそこ出る。
2. 水平層流（クロスフロー）方式
   天井高が無いけれどスペースがある時には、高い清浄度が出せる｡
3. 垂直層流（ダウンフロー）方式
   最も清浄度が得られるが、コストもかかる。
4. 室内ダクト（センターダクト）方式
   乱流の応用型で天井高が無い小さめの室に有効。

要求される温湿度条件や発熱量・排気量等により色々あるが次の方式が一般的に使われています。

用途に応じて色々なシステムを取れますが、次の四つが一般的です。

1. パッケージ方式
   大容量で多く使われ、比較的コストも抑えられる。
2. 直膨方式
   精密空調を伴う時使われる。
3. 垂直層流（ダウンフロー）方式
   最も清浄度が得られるが、コストもかかる。
4. 露点飽和散水方式
   発熱があまり多くなく、標準温湿度の時省エネ効果が最も高い。

クリーンルーム内の発塵はどの位？

作業員や機械から発塵しますが、人が作業する事によって発生する目安は下記のようです。
静止状態 １００，０００個／分
手先の作業 ５００，０００個／分
着席作業 ２，５００，０００個／分
立ち作業 ５，０００，０００個／分
歩行作業 １０，０００，０００個／分

室のクリーン化の方法は？

表面からの発塵が無く、塵埃が付きにくい平滑面という事で、最も一般的には断熱パネルでルームを作ります。既設の室が断熱性や機密性があれば、クリーンクロス張りで安価に作ることも出来ます。

断熱パネルってどういうの？

中が硬質発泡ウレタンで、内外とも表面はカラー鋼板で出来ています。断熱材が不燃の物も有ります。９００ｍｍ幅モジュールの組み合わせですが、自由な寸法に工場加工できます。自立性があり、原則的には柱は要りません。但し、３．６ｍ以上はパネル天井梁が付きます。４．５ｍ以上はその梁を既設天井から吊る必要があります。吊り元がどうしても無い場合は鉄骨で柱を立て梁を通して、その梁から吊ります。

床は特殊な作りが必要？

発塵しない・堆積させないということで、平滑面の床が必要です。一般的にはロンリユーム（長尺塩ビシート）で、壁とのコーナーはゴミが溜まりづらく、掃除のし易いＲ材付にする事が多いです。エポキシ系塗床も可能です。ダウンフロー方式のクリーンルームでは、アクセスフロアを設置します。

システム天井って何？

ダウンフロー方式のクリーンルームの場合、天井全面がＨＥＰＡフィルターとなるため、断熱パネル天井の下にアルミで骨組みを組、ＨＥＰＡフィルターを取り付けする為の天井です。

ドアはどんな形状があるの？

通常はエアータイトの密閉性の高い片開きドアです。親子開きや両開き、引き戸もあります。又、高価になりますが自動扉もパネルで製作可能です。

大きな機械類の出し入れはどうしたら良いの？

パネルの一面に取外しパネルを付けます。これは通常はノッチで密閉性があり、機械類の出し入れの時は取り外せる壁パネルです。

窓はどんな作りが良いの？

密閉性が高くゴミが溜まりづらい構造にする為、アルミ製の固定式で枠を斜めに成型した物を使います。多くは温度コントロールがある為、断熱性の良いペアグラス（二重硝子）を使います。標準的には７００×７００ｍｍが多いです。

コンセントはどんな構造？

１００Ｖは１５Ａ×２口まで断熱パネルに埋め込み、表面を平滑化します。 ２００Ｖは容量が大きくなるので埋め込みは難しく、内面の配管になります。

ＨＥＰＡフィルターって何？

高性能フィルターの事で、Ｄ．Ｏ．Ｐテストで０．３ミクロンの塵埃を９９．９７％除去できます。特殊ガラス繊維で出来ており、２～５年位が寿命で再生できずに交換となります。

ＵＬＰＡフィルターって何？

超高性能フィルターの事で、Ｄ．Ｏ．Ｐテストで０．１ミクロンの塵埃を９９．９９９％除去できます。特殊ガラス繊維で出来ており、２～５年位が寿命で再生できずに交換となります。

中性能フィルターって何？

簡易クリーンルーム用やプレフィルーとして使い、比色法捕集効率で95％・90％・65％等があります。やはり再生できません。

プレフィルターって何？

外気取り入れ口に付け大きなゴミを取り、ＨＥＰＡフィルターの負担を軽減します。
一般空調のフィルターと同じように、掃除機でゴミを取ったり水洗いできます。

フィルターボックスって何？

フィルターを取り付ける機密性の高いボックスです。ＦＵといいます。通常クリーンルームの天井に配置しダクトを引き込みます。ＦＦＵというファンも組み込んだ物もあります。

差圧ダンパーはどんな役割をするの？

クリーンルームは外部汚染空気の進入を防ぐ為、ＯＡを入れて常に陽圧に保っています。差圧ダンパーから余分な空気を外に出し、扉を開いたとき等陽圧が下がったら、ダンパーが閉まり外部汚染空気を入れません。

マノスターゲージって何？

微差圧計の事でクリーンルームの陽圧度やフィルターの圧損を測り、Ｐa（ パスカル）で表示します。

照明はどうなの？

本格的には埋込型のクリーンルーム用を使いますが、価格が数倍する為、クラス１００までなら、逆富士形を多く使います。標準的な照度は７００Ｌux程度ですが、微細な作業の時は１，０００Ｌux位の照明も出来ます。

安全装置は大丈夫？

クラスや温湿度条件は勿論ですが、見落としがちな要素に次のような物が有り価格に大きく影響します。

1. 内部発熱
   空調機の特に冷凍機の容量が違い、価格に大きく影響します。
2. 局所排気量
   排気量に見合った外部空気を取り入れ空調機に影響します。
3. 室内人員
   人数に見合った新鮮空気を取り入れ空調機に影響します。
4. 温度精度
   制御方式が異なり電気容量に影響します。
5. 湿度範囲
   加湿器容量に影響します。湿度成行きなら加湿器は要りません。

仕様が同一でもクリーンルームの価格が違うのは？

次のような項目が物件により変わり、価格が変わります。

1. 据付地区 運送費・交通費が変わります。
2. 搬入設備 クレーン等の重機代や搬入費が変わります。
3. 冷媒配管距離 冷媒配管工事費が変わり、空調機の価格が変わります。
4. 冷媒配管仕上 外部ラッキング等は価格が上がります。
5. 冷凍機設置場所 搬入方法が違ってきます。

給排水工事は必要？

冷凍機のドレンで必ず排水は必要になります。湿度コントロールがある場合は、加湿器の給水が必要です。大型のクリーンルームの場合は加湿量も多くスケールが溜まり易いので純水が理想的です。排水は２５φ以上で床に、給水は１５Ａのバルブ止めで、空調機周りまで御支給下さい。工場内の仕様を統一する為と、クリーンルーム以外の領域に出入りしない為に、一般的には１次側工事は別途にしていますが、ご要望があれば承ります。その場合、配管の種類（ＶＰ・ＨＩ・ＳＧＰ・ライニング・ＳＵＳ）と保温・支持方法をご指定下さい。

電源工事は？

照明・コンセント用に１００Ｖが必要です。３０Ａ以上は単相200Ｖ／100Ｖの電源が多いです。空調用に三相200Ｖが必要です。原則的に制御盤までを１次側工事としてご支給頂いていますが、ご要望があれば承ります。