クリーンルームに必要な設備と検討すべき事項

1. 必要な清浄度を維持する基準以上の循環風量と塵埃を取るHEPAフィルター等の高性能フィルター。
2. 塵埃が外から侵入しないように、クリーンルーム内を陽圧にするOA供給設備、及び陽圧ダンパー。
3. 塵埃の発生・付着や堆積を抑える室構造として、壁・天井には断熱パネルやクリーンクロス張り、床はR材を付けた長尺塩ビシートやエポキシ系塗床等平滑な構造物。
4. クリーンルーム内に人やワークに付着した塵埃を持ち込まないための、エアーシャワー・パスボックス等の設備。
5. 必要に応じた制御精度をコントロールできる精密もしくは一般温湿度制御用空調設備。
6. クリーンルーム内の効率的な機器類の配置・作業動線の検討。行動を最小限にすることで発塵を抑え、かつ生産性にも貢献。

清浄度とは

清浄度規格比較

アメリカ連邦規格Fed. Std. 209D

(1ft³中に含まれる0.5μｍ以上の微粒子数 個／ft³）

Fed.Std.209D	0.1μｍ	0.2μｍ	0.3μｍ	0.5μｍ	5μｍ
クラス1	35	8	3	1	-
クラス10	350	75	30	10	-
クラス100	3,500	750	300	100	-
クラス1,000	35,000	7,500	3,000	1,000	7
クラス10,000	-	-	-	10,000	70
クラス100,000	-	-	-	100,000	700

JIS規格JIS B 9920　ISO規格 ISO 14644-1

(1m³中に含まれる0.5μｍ以上の微粒子数 個／m³）

JIS ISO	0.1μｍ		0.2μｍ	0.3μｍ	0.5μｍ	5μｍ	F.S 209D　相当
クラス1	10	（101）	2	－	－	－
クラス2	100	（102）	24	10	4	－
クラス3	1,000	（103）	237	102	35	－	クラス1
クラス4	10,000	（104）	2,370	1,020	352	－	クラス10
クラス5	100,000	（105）	23,700	10,200	3,520	29	クラス100
クラス6	1,000,000	（106）	237,000	102,000	35,200	293	クラス1,000
クラス7	－	（107）	－	－	352,000	2,930	クラス10,000
クラス8	－	（108）	－	－	3,520,000	29,300	クラス100,000

アメリカ連邦規格Fed. Std. 209E

(1m³中に含まれる0.5μｍ以上の微粒子数 個／m³）

Fed. Std. 209E	0.1μｍ	0.2μｍ	0.3μｍ	0.5μｍ	5μｍ	F.S 209D　相当
クラスM1	350	76	31	10	－
クラスM1.5	1,240	265	106	35	－	クラス1
クラスM2	3,500	757	309	100	－
クラスM2.5	12,400	2,650	1,060	353	－	クラス10
クラスM3	35,000	7,570	3,090	1,000	－
クラスM3.5	－	26,500	10,600	3,530	－	クラス100
クラスM4	－	75,700	30,900	10,000	－
クラスM4.5	－	－	－	35,300	247	クラス1,000
クラスM5	－	－	－	100,000	618
クラスM5.5	－	－	－	353,000	2,470	クラス10,000
クラスM6	－	－	－	1,000,000	6,180
クラスM6.5	－	－	－	3,530,000	24,700	クラス100,000

微粒子寸法比較

一般環境下の清浄度目安

清浄度は、通常目にしたり感じたりすることはできません。また測定器も高価で一般的ではなく、清浄度を容易に測ることも困難です。

そこで、私達の周囲の環境ではどの位なのか当てはめてみました。もちろん一般の環境での汚染の状態は時間や季節によって異なりますが、取りあえずの目安となります。写真のような環境ですと、表のようになります。

一般環境下の清浄度目安

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