クリーンルームフロー図の説明
クリーンルームは、気流方式も空調方式も数多くの組み合わせがあります。
そこで今回は最も施工例の多い乱流方式で、湿度も含む精密空調をパッケージエアコンで制御するフロー図を参考例といたしました。
塵埃を取るHEPAフィルターはフィルターボックスに入れて天井に埋め込み、ダクトで繋ぎこみます。パンチングで拡散しながら吹出し、エアコン下部から吸い込み循環します。クリーンルームが常に陽圧になるようOAを強制的に取り入れます。
精密空調は冷却コイルで冷却・除湿を行い、過熱はPID制御によるヒーターでの再加熱を、加湿は加湿器のヒーターと同じくPID制御する事で非常に高い精度を保っています。
クリーンルームフロー図
付属品いろいろ
陽圧ダンパー
クリーンルーム内を常に陽圧に保つため、一定の差圧以上になったら室内から外へ空気を逃がすダンパーです。外からの逆流はありません。
マノスターゲージ
微差圧計の事でクリーンルーム内の陽圧度やフィルターの圧損を測ります。Pa（パスカル）で表示します。
取外しパネル
めったに出し入れしない機器のために、通常はノッチで機密性を保ち、機器類等大物の出し入れ時には取り外せる壁パネルです。
FU
HEPAフィルターを組み込んだ機密性の高いフィルターボックスです。通常天井に配置します。ファンを組み込んだFFUもあります。
取外しパネル
陽圧ダンパー