クリーンルームフロー図の説明

クリーンルームフロー図の説明

クリーンルームは、気流方式も空調方式も数多くの組み合わせがあります。そこで今回は最も施工例の多い乱流方式で、湿度も含む精密空調をパッケージエアコンで制御するフロー図を参考例といたしました。 塵埃を取るHEPAフィルターはフィルターボックスに入れて天井に埋め込み、ダクトで繋ぎこみます。パンチングで拡散しながら吹出し、エアコン下部から吸い込み循環します。クリーンルームが常に陽圧になるようOAを強制的に取り入れます。精密空調は冷却コイルで冷却・除湿を行い、過熱はPID制御によるヒーターでの再加熱を、加湿は加湿器のヒーターと同じくPID制御する事で非常に高い精度を保っています。

クリーンルームフロー図

クリーンルームフロー図

付属品いろいろ

陽圧ダンパー

クリーンルーム内を常に陽圧に保つため、一定の差圧以上になったら室内から外へ空気を逃がすダンパーです。外からの逆流はありません。

マノスターゲージ

微差圧計の事でクリーンルーム内の陽圧度やフィルターの圧損を測ります。Pa(パスカル)で表示します。

取外しパネル

めったに出し入れしない機器のために、通常はノッチで機密性を保ち、機器類等大物の出し入れ時には取り外せる壁パネルです。

FU

HEPAフィルターを組み込んだ機密性の高いフィルターボックスです。通常天井に配置します。ファンを組み込んだFFUもあります。

取外しパネル

取外しパネル

陽圧ダンパー

陽圧ダンパー

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